半導體式氣體傳感器是根據由金屬氧化物或金屬半導體氧化物材料制成的檢測元件，與氣體相互作用時產生表面吸附或反應，引起載流子運動為特征的電導率或伏安特性或表面電位變化而進**體濃度測量的。從作用機理上可分為表面控制型（采用氣體吸附于半導體表面而產生電導率變化的敏感元件）、表面電位型（采用半導體吸附氣體后產生表面電位或界面電位變化的氣體敏感元件）、體積控制型（基于半導體與氣體發生反應時體積發生變化，從而產生電導率變化的工作原理）等。可以檢測百分比濃度的可燃氣體，也可檢測ppm級的有毒有害氣體。具有結構簡單、檢測靈敏度高、反應速度快等諸多實用性優點，但其主要不足是測量線性范圍較小，受背景氣體干擾較大，易受環境溫度影響等。