X熒光元素分析儀的原理主要基于：原子受到X射線的作用，其內層電子被激發，形成空穴，原子處于不穩定的激發態。為了回到穩態，原子的外層電子會躍遷回內層，多余的能量以熒光形式釋放出來，被偵測器檢測到，通過此來做分析。通常，可以將X射線熒光光譜分析儀可分為波長色散性和能量色散性。

X熒光元素分析儀的共元素干擾情況：

    在日常的分析工作中，XRF這種分析方法經常會出現共元素干擾。這種共元素干擾的問題主要起源于X熒光射線偵測器對于X熒光射線的分辨率的限制所致，只要是XRF都會遭遇到相同的問題。共元素干擾主要分為三類：兩相近共元素干擾、加乘波峰、逃離波峰。

    （1）兩相近共元素干擾：由于兩元素在能譜圖上的位置相近，以至于偵測器無法分別出兩者之間的差距。如鉛(La10.55Kev)、砷(Ka10.54Kev)。

    （2）加乘波峰：由于某元素的濃度異常高，此時發出大量X熒光射線，而偵測器無法及時處理，將在能譜兩倍的位置上出現一根波峰。如大量的鐵(Ka6.4Kev)，會在能譜12.8Kev處出一根小波峰。造成誤判。但此種情形極為少見。

    （3）逃離波峰：由于某元素的濃度異常高，此時發出大量X熒光射線，而偵測器無法及時處理，將在此元素的能譜位 置前一個硅Ka的能譜距離多出一根小波峰而造成誤判，但情形極少出現。如錫(Ka25.27Kev)-硅(Ka1.74Kev)=23.53Kev≈鎘(Ka23.17 Kev)。